Industrie
semi-conducteur
Inspection d’un
wafer en silicium
Élimination des réflexions parasites et éclairage uniforme
des microstructures d’un wafer en silicium.
En utilisant la lumière L.E.S.S., l’utilisateur bénéficie de l’éclairage uniforme de lumière blanche (5400 K).
Surface d’un wafer éclairée par un anneau de LEDs entrée de gamme
L’image illustrée à gauche a été prise avec un anneau de LED d’entrée de gamme, à une distance de travail d’environ 100mm. D’importantes zones d’ombres sont présentes et des réflexions parasites apparaissent sur la surface du ne sont pas uniformément éclairées. Certaines gravures ne sont donc pas observables.
Surface d’un wafer éclairé
par anneau lumineux L.E.S.S.
L’image illustrée à droite a été prise avec un éclairage LESS de type Brightfield (BF-5400), à une distance de travail d’environ 100mm.
La structure de la surface est uniformément éclairée. Aucune zone d’ombre n’est présente sur les micro-structures, permettant ainsi d’observer tous les détails. L’uniformité de l’éclairage permet d’obtenir des images nettes et bien définies entrainant une inspection plus rapide et précise de l’échantillon.
Problématique
L’utilisation de lumière LED pour l’inspection de pièces en silicium crée des réflexions indésirables sur la surface de l’échantillon, réduisant ainsi la qualité de l’image.
Notre solution
En utilisant la lumière L.E.S.S., l’utilisateur bénéficie de l’éclairage uniforme d’une lumière blanc neutre (5400°K).
Avec l’éclairage en champ clair L.E.S.S. (BF-5400), la lumière éclaire l’échantillon par le dessus avec une intensité optimale et sans dissipation de chaleur.
Problématique
L’utilisation de lumière LED pour l’inspection de pièces en silicium crée des réflexions indésirables sur la surface de l’échantillon, réduisant ainsi la qualité de l’image.
Notre solution
En utilisant la lumière L.E.S.S., l’utilisateur bénéficie de l’éclairage uniforme d’une lumière blanc neutre (5400°K).
Avec l’éclairage en champ clair L.E.S.S. (BF-5400), la lumière éclaire l’échantillon par le dessus avec une intensité optimale et sans dissipation de chaleur.
